我国首台12英寸单晶炉研制成功

　　近日,国家“863”计划项目———“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”项目在北京正式通过科技部的验收,这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用单晶硅生长设备,在我国首次研制成功。

　　单晶炉是直拉法制备硅单晶的关键技术装备,所制备的硅单晶主要用于集成电路元件和太阳能电池。在我国,以单晶炉为代表的晶体生长设备一直存在核心技术不足的问题,高端产品均为国外公司所垄断,在很大程度上制约了我国超大规模集成电路和太阳能产业的发展。

　　西安理工大学与北京有色金属研究总院从2003年起承担“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”课题的研究和攻关任务,课题组组织多学科技术骨干,形成稳定的攻关团队,坚持走自主创新、集成创新的道路,经过3年多的攻关,取得了一系列创新性成果和关键技术。所研制的样机由课题组自主攻关、设计和加工,关键部件和样机达到了较高的技术水平,已成功拉制出12英寸无位错合格单晶。

　　通过项目的实施,课题组还建立了高端晶体生长设备的研发平台,达到了积累经验、获取成果、培养队伍的目的。验收会上,专家们认为该成果的取得填补了国内空白,标志着我国超大规模集成电路和太阳能产业的关键技术装备的生产迈上了一个新台阶,对我国超大规模集成电路及相关产业的发展具有重要的意义。